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heidenhain海德漢光柵尺LIC 4003 光柵測(cè)量位移的實(shí)質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對(duì)位稱量進(jìn)行測(cè)量。高分辨率的光柵尺一般造價(jià)較貴，且制造困難。

LIF 481V海德漢光柵尺 光柵尺，也稱為光柵尺位移傳感器或光柵尺傳感器，是通過利用光柵的光學(xué)原理工作的測(cè)量反饋裝置。光柵尺經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中，可用作直線位移或者角位移的檢測(cè)。

LIP 481 V，LIP 481 U海德漢光柵尺 玻璃上的Diadur相位光柵或Zerodur玻璃陶瓷 玻璃：αTherm8·10–6 K–1；Zerodur玻璃陶瓷：αTherm0（0±0.1）x 10–6 K–1

雙坐標(biāo)測(cè)量用PP 281 R海德漢光柵尺編碼器 PP 281R 二維增量式編碼器 測(cè)量步距1 µm至0.05 µm

heidenhain海德漢光柵尺LIDA209精度±15 µm LIDA 279，LIDA 289 允許較大安裝公差的增量式直線光柵尺 ? 測(cè)量步距0.5 µm ? 自由裁剪鋼帶光柵尺 ? 鋼光柵尺帶嵌入在安裝面中 ? 帶三色LED的功能顯示 ? 由光柵尺和讀數(shù)頭組成

heidenhain海德漢光柵尺LIDA207精度±15 µm LIDA 277，LIDA 287 允許較大安裝公差的增量式直線光柵尺 ? 測(cè)量步距0.5 µm ? 自由裁剪鋼帶光柵尺 ? 鋼帶光柵尺穿入在粘性鋁殼中并固定 ? 帶三色LED的功能顯示 ? 由光柵尺和讀數(shù)頭組成