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heidenhain海德漢光柵尺LIC 4003

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

heidenhain海德漢光柵尺LIC 4003
光柵測(cè)量位移的實(shí)質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對(duì)位稱量進(jìn)行測(cè)量。高分辨率的光柵尺一般造價(jià)較貴,且制造困難。

產(chǎn)品型號(hào):LIC 4003
更新時(shí)間:2024-11-20
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
訪問量:1459
詳細(xì)介紹
品牌HEIDENHAIN/德國(guó)海德漢

光柵測(cè)量位移的實(shí)質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對(duì)位稱量進(jìn)行測(cè)量。高分辨率的光柵尺一般造價(jià)較貴,且制造困難。為了提高系統(tǒng)分辨率,需要對(duì)莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分,目前(2006年)光柵尺傳感器系統(tǒng)多采用電子細(xì)分方法。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時(shí),在與光柵刻線大致垂直的方向上就會(huì)產(chǎn)生莫爾條紋,隨著光柵的移動(dòng),莫爾條紋也隨之上下移動(dòng)。這樣就把對(duì)光柵柵距的測(cè)量轉(zhuǎn)換為對(duì)莫爾條紋個(gè)數(shù)的測(cè)量。

  在一個(gè)莫爾條紋寬度內(nèi),按照一定間隔放置4個(gè)光電器件就能實(shí)現(xiàn)電子細(xì)分與判向功能。例如,柵線為50線對(duì)/mm的光柵尺,其光柵柵距為0.02mm,若采用四細(xì)分后便可得到分辨率為5μm的計(jì)數(shù)脈沖,這在工業(yè)普通測(cè)控中已達(dá)到了很高精度。由于位移是一個(gè)矢量,即要檢測(cè)其大小,又要檢測(cè)其方向,因此至少需要兩路相位不同的光電信號(hào)。

  為了消除共模干擾、直流分量和偶次諧波,通常采用由低漂移運(yùn)放構(gòu)成的差分放大器。由4個(gè)光敏器件獲得的4路光電信號(hào)分別送到2只差分放大器輸入端,從差分放大器輸出的兩路信號(hào)其相位差為π/2,為得到判向和計(jì)數(shù)脈沖,需對(duì)這兩路信號(hào)進(jìn)行整形,首先把它們整形為占空比為1:1的方波。然后,通過對(duì)方波的相位進(jìn)行判別比較,就可以等到光柵尺的移動(dòng)方向。通過對(duì)方波脈沖進(jìn)行計(jì)數(shù),可以等到光柵尺的位移和速度。

 

heidenhain海德漢光柵尺LIC 4003

 

 

規(guī)模

LIC 4003

測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)

線膨脹系數(shù)*

玻璃陶瓷或玻璃上的金屬刻度光柵

αtherm?8·10–6 K–1(玻璃)

αtherm=(0±0.5)·10–6 K–1(Robax玻璃陶瓷)

精度等級(jí)*

±1 µm (僅適用于Robax玻璃陶瓷), ±3 µm, ±5 µm

基線誤差

≤ ±0.275 µm/10 mm

測(cè)量長(zhǎng)度ml*inmm

240 340 440 640 840 1040 1240 1440 1640 1840 2040 2240 2440

2640 2840 3040 (Robax玻璃陶瓷,大ml 1640)

質(zhì)量

3 g + 0.1 g/mm 測(cè)量長(zhǎng)度

 

 

 

掃描頭

AK LIC 411V

AK LIC 419 F V

AK LIC 419 M V

AK LIC 419 P V

界面

EnDat 2.2

Fanuc串行接口αi接口

三菱高速接口

松下系列接口

訂購(gòu)名稱*

EnDat22

Fanuc05

Mit03-4

Mit02-2

Pana01

測(cè)量步驟*

0.01 µm (10 nm)

0.005 µm (5 nm)

0.001 µm (1 nm)

0.01 µm (10 nm)

0.005 µm (5 nm)

計(jì)算時(shí)間tcal

時(shí)鐘頻率

≤ 5 µs

16 MHz

橫移速度1)

≤ 600 m/min

插值誤差

±20 nm

電氣連接

電纜1米或3米,帶D-Sub連接器(公接頭)15針

電纜長(zhǎng)度(帶海德漢電纜)

≤ 100 m

≤ 50 m

≤ 30 m

≤ 50 m

電壓供應(yīng)

3.6 V DC to 14 V DC

功耗1(大)

At 3.6 V: ≤700 mW

At 14 V: ≤800 mW

At 3.6 V: ≤ 850 mW

At 14 V: ≤ 950 mW

電流消耗(典型)

At 5 V: 75mA 
(無負(fù)荷)

At 5 V: 95 mA 
(無負(fù)荷)

振動(dòng)55赫茲至2000赫茲

沖擊6毫秒

≤ 500 m/s2 (EN 60 068-2-6)

≤ 1000 m/s2 (EN 60 068-2-27)

工作溫度

–10 °C to 50 °C

烘烤溫度

100 °C

真空級(jí)

高真空高達(dá)10–7毫巴

保護(hù)EN 60 529

IP40

質(zhì)量掃描頭

連接電纜

連接器

18 g (無電纜)

21 g/m

D-Sub連接器:64 G

*訂購(gòu)時(shí)請(qǐng)選擇

1)參見海德漢編碼器手冊(cè)接口中的一般電氣信息。

 

Robax是德國(guó)緬因州Schott Glaswerke的注冊(cè)商標(biāo)。

 

如有需要詳情,請(qǐng)點(diǎn)擊:heidenhain海德漢光柵尺LIC 4003

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