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heidenhain海德漢光柵尺LIC 2109精度0.05µm LIC 2119，LIC 2199 式直線光柵尺，大測(cè)量長(zhǎng)度3 m ? 測(cè)量步距0.1 µm或0.05 µm ? 鋼光柵尺帶嵌入在安裝面中 ? 由光柵尺和讀數(shù)頭組成

海德漢光柵尺LIC2107精度0.1 µm~0.05 µm LIC 2117，LIC 2197 式直線光柵尺，大測(cè)量長(zhǎng)度3 m ? 測(cè)量步距0.1 µm或0.05 µm ? 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并中間固定 ? 由光柵尺和讀數(shù)頭組成

heidenhain海德漢光柵尺LIC4009精度0.001µm LIC 4119，LIC 4199 式直線光柵尺，大測(cè)量長(zhǎng)度1 m ? 測(cè)量步距達(dá)0.001 µm（1 nm） ? 鋼光柵尺帶嵌入在安裝面中 ? 由光柵尺和讀數(shù)頭組成

heidenhain海德漢光柵尺LIC4197精度0.001µm LIC 4117，LIC 4197 式直線光柵尺，大測(cè)量長(zhǎng)度6 m ? 測(cè)量步距達(dá)0.001 µm（1 nm） ? 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并中間固定 ? 由光柵尺和讀數(shù)頭組成

heidenhain海德漢光柵尺LIC4005精度0.001µm LIC 4115，LIC 4195 式直線光柵尺，大測(cè)量長(zhǎng)度28 m ? 測(cè)量步距達(dá)0.001 µm（1 nm） ? 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并預(yù)緊 ? 由光柵尺和讀數(shù)頭組成

heidenhain海德漢光柵尺LIC4003精度0.001µm LIC 4113，LIC 4193 式直線光柵尺，大測(cè)量長(zhǎng)度3 m ? 測(cè)量步距小至0.001 µm ? 玻璃或玻璃陶瓷測(cè)量基準(zhǔn) ? 玻璃光柵尺，背膠固定 ? 由光柵尺和讀數(shù)頭組成